비정질 실리콘의 부분적 알루미늄 유도 결정화 공정에서의 급속 열처리 적용 가능성

논문상세정보
' 비정질 실리콘의 부분적 알루미늄 유도 결정화 공정에서의 급속 열처리 적용 가능성' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 결정학
  • AIC (Aluminum Induced Crystallization)
  • Alumina blasting
  • RTA (Rapid Thermal Annealing)
  • Silicon thin film crystallization
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
267 0

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