논문상세정보
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- 저자 이기성(Ki-Seong Lee) 오홍준(Hong Jun Oh) 김용성(Young Sung Kim)
- 제어번호 106154295
- 학술지명 한국생산제조학회지
- 권호사항 Vol. 28 No. 2 [ 2019 ]
- 발행처 한국생산제조학회
- 발행처 URL http://ksmte.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 71-78 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- KDC 003
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Aqueous stripper Photo-resist Cyclodextrin Photolithography Stripping process Swelling
