논문상세정보
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- 저자 유동수 이성민 황광택 김종영 심우영 Yu, Dongsu Lee, Sung-Min Hwang, Kwang-Taek Kim, Jong-Young Shim, Wooyoung
- 제어번호 106144801
- 학술지명 한국결정성장학회지
- 권호사항 Vol. 28 No. 6 [ 2018 ]
- 발행처 한국결정성장학회
- 발행처 URL http://www.kacg.net
- 자료유형 학술저널
- 수록면 235-242
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 경북대학교 중앙도서관 계명대학교 동산도서관 연세대학교 학술문화처 도서관 연세대학교 학술문화처 도서관 영남대학교 과학도서관
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- 주제어 Alumina nitride Electrical conductivity Electrostatic chuck Impedance spectroscopy Micro-structure
