논문상세정보
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- 저자 조찬우(Chan U Jo) 김동원(Dong Won Kim) 마정범(Jeong Beom Ma) 김종진(Jong Jin Kim) 이정윤(Jung Youn Lee)
- 제어번호 106095519
- 학술지명 한국소음진동공학회 학술대회논문집
- 권호사항 Vol. 2019 No. 2 [ 2019 ]
- 발행처 한국소음진동공학회
- 발행처 URL http://www.ksnve.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 225-225 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- KDC 424
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Ground Vibration(지반진동) Semiconductor Equipment(반도체 장비) Transfer Metrix Method(TMM : 전달행렬법) Vibration Analysis(진동해석) Taguchi Method(다구치 방법)
