논문상세정보
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- 저자 강동곤(Donggon Kang) 김윤영(Yun Young Kim) 조윤호(Younho Cho)
- 제어번호 106050656
- 학술지명 大韓機械學會論文集A
- 권호사항 Vol. 43 No. 3 [ 2019 ]
- 발행처 대한기계학회
- 발행처 URL http://www.ksme.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 209-213 ( 5쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2019
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 부산대학교 중앙도서관 영남대학교 과학도서관 중앙대학교 서울캠퍼스 중앙도서관 중앙대학교 서울캠퍼스 중앙도서관 중앙대학교 서울캠퍼스 중앙도서관
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Characterization(특성 평가) Resonance Test(공진시험) Microcantilever(마이크로캔틸레버) Thin film (박막) Tungsten(텅스텐)
