연구동향 분석

에어로졸 데포지션으로 제조된 4H-SiC 위 Al₂O₃ 게이트 산화막의 후열처리 공정에 따른 전기적 특성

김홍기(Hong-Ki Kim) 김성준(Seong-jun Kim) 강민재(Min-Jae Kang) 조명연(Myung-Yeon Cho) 오종민(Jong-Min Oh) 구상모(Sang-Mo Koo) 이남석(Nam-suk Lee) 신훈규(Hoon-Kyu Shin) 2018년

논문상세정보
인용/피인용
' 에어로졸 데포지션으로 제조된 4H-SiC 위 Al₂O₃ 게이트 산화막의 후열처리 공정에 따른 전기적 특성' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 4h-sic
  • Aerosol Deposition
  • Post Annealing
  • al₂o₃
  • gateoxide
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
87 0

0.0%