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- 저자 김홍기(Hong-Ki Kim) 김성준(Seong-jun Kim) 강민재(Min-Jae Kang) 조명연(Myung-Yeon Cho) 오종민(Jong-Min Oh) 구상모(Sang-Mo Koo) 이남석(Nam-suk Lee) 신훈규(Hoon-Kyu Shin)
- 제어번호 105999644
- 학술지명 전기전자학회논문지
- 권호사항 Vol. 22 No. 4 [ 2018 ]
- 발행처 한국전기전자학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1230-1233 ( 4쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 4H-SiC Aerosol Deposition Post Annealing Al₂O₃ GateOxide