논문상세정보
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- 저자 In-Ho Park(박인호) Da-Sol Lee(이다솔) Seon-ho Jeong(정선호) Hae-do Jeong(정해도)
- 제어번호 105923036
- 학술지명 한국기계가공학회지
- 권호사항 Vol. 17 No. 6 [ 2018 ]
- 발행처 한국기계가공학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 91-97 ( 7쪽)
- 언어 English
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 CMP(화학기계적 연마) Size of Particles(입자 크기) SlurryTemperature(슬러리온도)
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