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Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO₂의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰

한상우 이창현 이정해 차호영 Han, Sang-Woo Lee, Chang-Hyun Lee, Jeong-Hae Cha, Ho Young 2018년

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논문상세정보

- 저자 한상우 이창현 이정해 차호영 Han, Sang-Woo Lee, Chang-Hyun Lee, Jeong-Hae Cha, Ho Young
- 주제어 $HfO_2$ MFM capacitor ferroelectric material frequency-dependent capacitance variable capacitor
- 참고문헌( 0)
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인용/피인용

Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO₂

' Tunable RF 기기 적용을 위한 ALD-HfO₂의 마이크로파 대역 강유전체 특성 고찰' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 $hfo_2$ MFM capacitor ferroelectric material frequency-dependent capacitance variable capacitor
4,667	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	4,649	0	0.0%
주제어	$hfo_2$	6	0	0.0%
	MFM capacitor	2	0	0.0%
	ferroelectric material	2	0	0.0%
	frequency-dependent capacitan ...	2	0	0.0%
	variable capacitor	6	0	0.0%
계		4,667	0	0.0%
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