논문상세정보
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- 저자 최진호(Jin Ho Choi) 최혜진(Hye Jin Choi) 김규만(Gyu Man Kim)
- 제어번호 105630287
- 학술지명 한국정밀공학회지
- 권호사항 Vol. 35 No. 11 [ 2018 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 1043-1054 ( 12쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- KDC 555
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 영남대학교 과학도서관
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Air-knife system (에어나이프 시스템) Micro-electro-mechanical systems(초소형 정밀기계 기술) Microstencil(마이크로스텐실) Nanostencil(나노스텐실) Shadow mask(섀도우마스크) Stencil lithography(스텐실 리소그래피)
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