SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구

논문상세정보
' SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 결정학
  • 2 inch crystal
  • AlN crystal
  • Crystal growth
  • PVT method
  • aln
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
312 0

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