논문상세정보
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- 저자 이기성(Ki-Seong Lee) 이재원(Jaeone Lee) 김용성(Young Sung Kim)
- 제어번호 105602049
- 학술지명 청정기술
- 권호사항 Vol. 24 No. 3 [ 2018 ]
- 발행처 한국청정기술학회
- 발행처 URL http://www.cleantech.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 175-182 ( 8쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Aqueous stripper Photo-resist Cyclodextrin Photolithography Stripping process Swelling 감광제 박리공정 수계박리액 스웰링 포토리소그래피
