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- 저자 정윤재 양승수 유민재 김영환 Chung, Yoonjae Yang, Seung Soo Yu, Minjae Kim, Young H.
- 제어번호 105549643
- 학술지명 韓國音響學會誌
- 권호사항 Vol. 37 No. 4 [ 2018 ]
- 발행처 한국음향학회
- 발행처 URL http://www.ask.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 174-180
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 건국대학교 상허기념중앙도서관 경북대학교 중앙도서관 서울대학교 중앙도서관
- 판매처
- 주제어 램파 선집속 탐촉자 실리콘 웨이퍼 이방성
유사주제 논문( 517)