논문상세정보
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- 저자 백종훈 조영준 장효식 Baek, Jong Hoon Cho, Young Joon Chang, Hyo Sik
- 제어번호 105453554
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 31 No. 5 [ 2018 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 341-344
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 고려대학교 과학도서관
- 판매처
- 주제어 Ozone oxidation Silicon oxide TOPCon Passivation
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