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DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구
김대균
최두호
2018년
활용도 Analysis
논문 Analysis
연구자 Analysis
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논문 Analysis
연구자 Analysis
활용도
공유도
영향력
논문상세정보
저자
김대균
최두호
제어번호
105446267
학술지명
마이크로전자 및 패키징학회지
권호사항
Vol. 25 No. 2 [ 2018 ]
발행처
한국마이크로전자및패키징학회
자료유형
학술저널
수록면
19-23
언어
Korean
출판년도
2018
등재정보
KCI등재
판매처
참고문헌( 0)
유사주제 논문( 0)
인용/피인용
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박 ...