논문상세정보
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- 저자 성준호 유순재 정미숙 Sung, Jun Ho Yu, Soon Jae Anil, Kawan Jung, Mee Suk
- 제어번호 105350113
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 31 No. 4 [ 2018 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 267-271
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 고려대학교 과학도서관 영남대학교 중앙도서관 영남대학교 중앙도서관
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- 주제어 Exposure system High directivity Light source TIR lens Ultra violet
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