연구동향 분석

습식 에칭 공정에서의 과산화수소 이상반응에 대한 안전 대책 및 제어에 관한 연구

유흥렬 손영득 Yoo, Heung-Ryol Son, Yung-Deug 2018년

논문상세정보
인용/피인용
' 습식 에칭 공정에서의 과산화수소 이상반응에 대한 안전 대책 및 제어에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 기술과 연합작용
  • $h_2o_2$
  • Etchant
  • PCB Board
  • Reactions
  • Safety PLC
  • Wet-Etching
  • al
  • cu
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
7,380 0

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