Etch selectivities of mask materials for micromachining of ultrananocrystalline diamond film
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저자
최병수
박종천
황선구
김진곤
신성철
이인원
류정호
조현
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제어번호
105305293
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학술지명
Journal of Ceramic Processing Research
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권호사항
Vol.
17
No.
11
[
2016
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발행처
한양대학교 세라믹연구소
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자료유형
학술저널
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수록면
1123-1126
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언어
English
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출판년도
2016
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등재정보
KCI등재
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판매처
