연구동향 분석

플라즈마 이용 반도체 공정의 과불화화합물(NF3, CF4, SF6) 분해 연구

류재용 2018년

논문상세정보
인용/피인용
' 플라즈마 이용 반도체 공정의 과불화화합물(NF3, CF4, SF6) 분해 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Perfluorocompounds
  • cf4
  • nf3
  • plasma
  • semiconductor process
  • sf6
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
248 0

0.0%