연구동향 분석

화학적 기계적 연마 공정을 통한 bulk AlN 단결정의 표면 가공

이정훈 박철우 박재화 강효상 강석현 이희애 이주형 인준형 강승민 심광보 Lee, Jung Hun Park, Cheol Woo Park, Jae Hwa Kang, Hyo Sang Kang, Suk Hyun Lee, Hee Ae Lee, Joo Hyung In, Jun Hyeong Kang, Seung-Min Shim, Kwang-Bo 2018년

논문상세정보
인용/피인용
' 화학적 기계적 연마 공정을 통한 bulk AlN 단결정의 표면 가공' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 결정학
  • Aluminum nitride
  • Chemical mechanical polishing
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
289 0

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