질산산화법을 이용한 SiO2/Si 구조의 계면결함 제거

논문상세정보
' 질산산화법을 이용한 SiO2/Si 구조의 계면결함 제거' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 기술과 연합작용
  • interface properties
  • nitric acid oxidation
  • $SiO_2/Si$ interface
  • densification
  • interface state density
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
759 0

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