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TaCl₅-C₃-H₆-H₂ 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석

김현미 최균 심광보 조남춘 박종규 Kim, Hyun-Mi Choi, Kyoon Shim, Kwang-Bo Cho, Nam-Choon Park, Jong-Kyoo 2018년

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논문상세정보

- 저자 김현미 최균 심광보 조남춘 박종규 Kim, Hyun-Mi Choi, Kyoon Shim, Kwang-Bo Cho, Nam-Choon Park, Jong-Kyoo
- 제어번호 105254874
- 학술지명 한국재료학회지
- 권호사항 Vol. 28 No. 2 [ 2018 ]
- 발행처 한국재료학회
- 발행처 URL http://www.mrs-k.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 75-81
- 언어 Korean
- 출판년도 2018
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 경북대학교 중앙도서관
- 판매처
- 주제어 erosion of C/C composite chemical vapor deposition tantalum carbide thermodynamic analysis
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 794)

인용/피인용

TaCl₅-C₃-H₆-H ...

' TaCl₅-C₃-H₆-H₂ 계에서 TaC CVD 공정의 열역학 해석' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	기술과 연합작용 erosion of C/C composite chemical vapor deposition tantalum carbide thermodynamic analysis
799	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	기술과 연합작용	728	0	0.0%
주제어	erosion of C/C composite	2	0	0.0%
	chemical vapor deposition	62	0	0.0%
	tantalum carbide	4	0	0.0%
	thermodynamic analysis	3	0	0.0%
계		799	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0