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포토레지스트 공정에서 높은 선택성을 가지는 초임계 이산화탄소/n-butyl acetate 공용매 시스템 연구
김동우
허훈
임권택
Kim, Dong Woo
Heo, Hoon
Lim, Kwon Teak
2017년
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포토레지스트 공정에서 높은 선택성을 가지는 초임계 이산화탄소/n-butyl acetate 공용매 시스템 연구' 의 주제별 논문영향력
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| 동일주제 총논문수 | 논문피인용 총횟수 | 주제별 논문영향력의 평균 |
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