인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :

RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구

연제호 김홍배 2016년

활용도
공유도
영향력

논문상세정보

- 저자 연제호 김홍배
- 제어번호 104659036
- 학술지명 반도체디스플레이기술학회지
- 권호사항 Vol. 15 No. 3 [ 2016 ]
- 발행처 한국반도체디스플레이기술학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 57-61
- 언어 Korean
- 출판년도 2016
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 0)

인용/피인용

RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 ...