Numerical Simulation: Effects of Gas Flow and Rf Current Direction on Plasma Uniformity in an ICP Dry Etcher
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Numerical Simulation: Effects of Gas Flow and Rf Current Direction on Plasma Uniformity in an ICP Dry Etcher' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
주제 |
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동일주제 총논문수 |
논문피인용 총횟수 |
주제별 논문영향력의 평균 |
264
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0
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주제별 논문영향력
논문영향력
주제 |
주제별 논문수 |
주제별 피인용횟수 |
주제별 논문영향력 |
주제분류(KDC/DDC) |
유체공학, 기력학, 진공학
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264
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0
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계 |
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264
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0
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* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수 |
0
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