반도체 웨이퍼 열공정에 사용되는 파워단자부의 전기-열 해석

논문상세정보
    • 저자 우대성 김경준
    • 제어번호 104302616
    • 학술지명 한국마린엔지니어링학회지
    • 권호사항 Vol. 41 No. 9 [ 2017 ]
    • 발행처 한국마린엔지니어링학회
    • 자료유형 학술저널
    • 수록면 781-786 ( 6쪽)
    • 언어 Korean
    • 출판년도 2017
    • 등재정보 KCI등재
    • 판매처
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