Transmission Electron Microscopy Study of the Failure Mechanism of the Diffusion Barriers (TiN and TaN) Between Al and Cu

김수현 2017년
논문상세정보
    • 저자 김수현
    • 제어번호 103567669
    • 학술지명 METALS AND MATERIALS International
    • 권호사항 Vol. 23 No. 1 [ 2017 ]
    • 발행처 대한금속·재료학회
    • 발행처 URL http://www.kim.or.kr
    • 자료유형 학술저널
    • 수록면 141-147
    • 언어 English
    • 출판년도 2017
    • 등재정보 KCI등재
    • 소장기관 부산대학교 중앙도서관 연세대학교 학술문화처 도서관 연세대학교 학술문화처 도서관 영남대학교 과학도서관
    • 판매처
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