CF4 플라즈마 처리를 통한 AlGaN/GaN 쇼트키 배리어 다이오드의 정전기 방전 특성 향상

논문상세정보
    • 저자 이예지 유지현 장태훈 심규환 조덕호
    • 제어번호 103562758
    • 학술지명 새물리
    • 권호사항 Vol. 67 No. 1 [ 2017 ]
    • 발행처 한국물리학회
    • 발행처 URL http://www.kps.or.kr/
    • 자료유형 학술저널
    • 수록면 1-6
    • 언어 Korean
    • 출판년도 2017
    • 등재정보 KCI등재
    • 소장기관 건국대학교 상허기념중앙도서관 경북대학교 중앙도서관 동국대학교 중앙도서관 부산대학교 중앙도서관 성균관대학교 삼성학술정보관 성균관대학교 삼성학술정보관 영남대학교 과학도서관
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