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Study of degradation in bulk lifetime of n-type silicon wafer due to oxidation of boron-rich layer

Kyungsun Ryu Chel-Jong Choi Ajeet Rohatgi Young-Woo Ok 2016년

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논문상세정보

- 저자 Kyungsun Ryu Chel-Jong Choi Ajeet Rohatgi Young-Woo Ok
- 제어번호 103562672
- 학술지명 Current Applied Physics
- 권호사항 Vol. 16 No. 5 [ 2016 ]
- 발행처 한국물리학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 497-500
- 언어 English
- 출판년도 2016
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 참고문헌( 0)
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인용/피인용

Study of degradation in bulk lifetime of n-type si ...