Effect of Glycine on Copper CMP
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저자
장수천
정해도
여민종
박인호
박재홍
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제어번호
103560261
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학술지명
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology
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권호사항
Vol.
3
No.
2
[
2016
]
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발행처
한국정밀공학회
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자료유형
학술저널
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수록면
155-159
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언어
English
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출판년도
2016
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등재정보
KCI등재
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소장기관
영남대학교 과학도서관
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판매처