논문상세정보
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- 저자 정현일(Hyun-Il Jung) 신주엽(Ju-Yeop Shin) 이설희(SeolHee Yi) 권익환(Ik-Hwan Kwon) 정현철(Hyun-Chul Jung) 김경석(Kyeong-Suk Kim)
- 제어번호 103233820
- 학술지명 한국비파괴검사학회지
- 권호사항 Vol. 37 No. 3 [ 2017 ]
- 발행처 한국비파괴검사학회
- 발행처 URL http://www.ksnt.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 158-163 ( 6쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2017
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 계명대학교 동산도서관 연세대학교 학술문화처 도서관 연세대학교 학술문화처 도서관 영남대학교 과학도서관
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Honeycomb Structured Circuit Measurement of Line Width Reflective Digital Holography Photolithography 반사형 디지털 홀로그래피 선 폭 측정 포토리소그래피 허니콤 구조 회로
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