논문상세정보
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- 저자 최광민 조우석 김종영 정종열 백승우 이규형 Choi, Kwang Min Cho, Woo-Seok Kim, Jong-Young Jung, Jong-Yeol Baik, Seung-Woo Lee, Kyu Hyoung
- 제어번호 103098205
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 30 No. 2 [ 2017 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 67-73
- 언어 Korean
- 출판년도 2017
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 고려대학교 과학도서관 영남대학교 중앙도서관 영남대학교 중앙도서관
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- 주제어 Anti-static Vacuum chuck Aluminosilicate High strength Macroporous
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