반도체 구리 배선공정에서 표면 전처리가 이후 구리 전해/무전해 전착 박막에 미치는 영향

논문상세정보
' 반도체 구리 배선공정에서 표면 전처리가 이후 구리 전해/무전해 전착 박막에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 물리화학과 이론화학
  • Electroless
  • Oxide
  • cu
  • electrodeposition
  • pre-treatment
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
490 0

0.0%