논문상세정보
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- 저자 이다솔(Da Sol Lee) 정선호(Seon Ho Jeong) 이종우(Jong Woo Lee) 정진엽(Jin Yeop Jeong) 정해도(Haedo Jeong)
- 제어번호 102679597
- 학술지명 한국정밀공학회지
- 권호사항 Vol. 34 No. 2 [ 2017 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 100-105 ( 6쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2017
- KDC 555
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 건국대학교 상허기념중앙도서관 영남대학교 과학도서관
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Centrifugal pump (원심 펌프) Slurry delivery system (슬러리 공급 시스템) Slurry flow (슬러리 유동) Spray slurry nozzle (스프레이 슬러리 노즐) Chemicalmechanicalpolishing(화학적기계적연마)
