직선 이송축의 3자유도 오차 보정을 위한 미세 구동 스테이지 개발 및 성능 평가

논문상세정보
' 직선 이송축의 3자유도 오차 보정을 위한 미세 구동 스테이지 개발 및 성능 평가' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • Abbes offsets (아베 옵셋)
  • Capacitive sensor (정전용량 센서)
  • Compensation (보정)
  • Planar parallel mechanism (평면형 병렬 기구)
  • geometricerror(기하학적오차)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
10 0

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