논문상세정보
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- 저자 안지환 김형준 유진근 오성국 An, Jihwan Kim, Hyong June Yu, Jin Geun Oh, Seongkook
- 제어번호 102439065
- 학술지명 마이크로전자 및 패키징학회지
- 권호사항 Vol. 23 No. 3 [ 2016 ]
- 발행처 한국마이크로전자및패키징학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 31-35
- 언어 Korean
- 출판년도 2016
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 경북대학교 중앙도서관
- 판매처
- 주제어 atomic layer deposition doped zirconia functional thin film solid oxide fuel cell thin film electrolyte 고령화사회 사회복지
