Ti-Al-Si-N 박막 제작을 위한 합금 타겟 제조 및 박막의 기계적 특성

논문상세정보
' Ti-Al-Si-N 박막 제작을 위한 합금 타겟 제조 및 박막의 기계적 특성' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 응용 물리
  • Single alloying target
  • Ti-Al-Si-N coating
  • Unbalanced magnetron sputtering
  • VR Image contents
  • ma
  • sps
  • 가상현실
  • 헤드마운티드디스플레이
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
5,998 0

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