연구동향 분석

반응성 이온 건식식각에서 RF Power 변화에 따른 표면 조직화 개선 연구

박석기 이정인 강민구 강기환 송희은 장효식 Park, Seok-Gi Lee, Jeong In Kang, Min Gu Kang, Gi-Hwan Song, Hee-eun Chang, Hyo Sik 2016년

논문상세정보
인용/피인용
' 반응성 이온 건식식각에서 RF Power 변화에 따른 표면 조직화 개선 연구' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 응용 물리
  • RF (radio frequency) power
  • RIE (reactive ion etching)
  • Reflectance
  • Virtual Reality
  • solar cell
  • 브랜드
  • 소비자
  • 패키지 디자인
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
6,189 0

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