후속열처리 및 고온고습 조건에 따른 Cu 배선 확산 방지층 적용을 위한 ALD RuAlO 박막의 계면접착에너지에 관한 연구

이현철 정민수 배병현 천태훈 김수현 박영배 Lee, Hyeonchul Jeong, Minsu Bae, Byung-Hyun Cheon, Taehun Kim, Soo-Hyun Park, Young-Bae 2016년

논문상세정보

인용/피인용

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 4-point bending test RuAlO ald cuinterconnect interfacial adhesion energy ビリ一フ日本語敎師發音發音指導
951	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	848	0.0%
주제어	4-point bending test	10	0.0%
	RuAlO	2	0.0%
	ald	65	0.0%
	cuinterconnect	8	0.0%
	interfacial adhesion energy	5	0.0%
	ビリ一フ	3	0.0%
	日本語敎師	3	0.0%
	發音	5	0.0%
	發音指導	2	0.0%
계		951	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수