ALD로 저온에서 증착된 TiO₂ 박막의 막질에 대한 연구

박원희 신정우 양병찬 박만진 장동영 안지환 Park, Won Hee Shin, Jeong Woo Yang, Byung Chan Park, Man-Jin Jang, Dong Young An, Jihwan 2016년

논문상세정보

인용/피인용

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 $tio_2$ Low-Temperature Deposition atomic layer deposition thin-film 건축 겐지 문 신덴즈쿠리
1,210	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	848	0.0%
주제어	$tio_2$	62	0.0%
	Low-Temperature Deposition	1	0.0%
	atomic layer deposition	53	0.0%
	thin-film	50	0.0%
	건축	146	0.0%
	겐지	8	0.0%
	문	38	0.0%
	신덴즈쿠리	4	0.0%
계		1,210	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수

ALD로 저온에서 증착된 TiO2 박막의 막질에 대한 연구