정반 그루브의 형상치수가 사파이어 기판의 연마특성에 미치는 영향

논문상세정보
' 정반 그루브의 형상치수가 사파이어 기판의 연마특성에 미치는 영향' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • groove(그루브)
  • lapping(래핑)
  • material removal rate(재료제거율)
  • sapphire wafer(사파이어 기판)
  • shape dimension(형상치수)
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
12 0

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