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자기세정을 위한 스퍼터링 TiO₂ 박막의 산소 표면처리에 따른 특성

김남훈 박용섭 Kim, Nam-Hoon Park, Yong Seob 2016년

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논문상세정보

- 저자 김남훈 박용섭 Kim, Nam-Hoon Park, Yong Seob
- 제어번호 102090064
- 학술지명 전기전자재료학회논문지
- 권호사항 Vol. 29 No. 5 [ 2016 ]
- 발행처 한국전기전자재료학회
- 자료유형 학술저널
- 수록면 294-297
- 언어 Korean
- 출판년도 2016
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 영남대학교 중앙도서관 영남대학교 중앙도서관
- 판매처
- 주제어 $TiO_2$ Contact angle Rms surface roughness Stability Unbalanced magnetron sputtering 선회성능
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 5,160)

인용/피인용

자기세정을 위한 스퍼터링 TiO₂ 박막 ...

' 자기세정을 위한 스퍼터링 TiO₂ 박막의 산소 표면처리에 따른 특성' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	응용 물리 $tio_2$ Contact angle Rms surface roughness Stability Unbalanced magnetron sputtering 선회성능
5,167	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제분류(KDC/DDC)	응용 물리	4,649	0	0.0%
주제어	$tio_2$	62	0	0.0%
	Contact angle	38	0	0.0%
	Rms surface roughness	5	0	0.0%
	Stability	398	0	0.0%
	Unbalanced magnetron sputteri ...	9	0	0.0%
	선회성능	6	0	0.0%
계		5,167	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0