논문상세정보
-
- 저자 김상연(Sang Yeon Kim) 김경범(Gyung Bum Kim)
- 제어번호 102029399
- 학술지명 한국정밀공학회지
- 권호사항 Vol. 33 No. 9 [ 2016 ]
- 발행처 Korean Society for Precision Engineering
- 발행처 URL http://www.kspe.or.kr/
- 자료유형 학술저널
- 수록면 715-721 ( 7쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2016
- KDC 555
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 영남대학교 과학도서관
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Classification(분류) Micro-Crack(마이크로크랙) Silicon wafer (실리콘 웨이퍼) SVM(서포트벡터머신)
