Fabrication of ZnO inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition
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저자
송종수
윤홍로
성명모
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제어번호
101792521
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학술지명
한국진공학회 학술발표회초록집
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권호사항
Vol.
2016
No.
2
[
2016
]
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발행처
한국진공학회
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발행처 URL
http://www.kvs.or.kr
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자료유형
학술저널
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수록면
312-312
(
1쪽)
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언어
English
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출판년도
2016
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KDC
420
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판매처
누리미디어
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주제어
ALD
UV-ALD
ZnO
'
Fabrication of ZnO inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition' 의 주제별 논문영향력
논문영향력 요약
| 주제 |
|
| 동일주제 총논문수 |
논문피인용 총횟수 |
주제별 논문영향력의 평균 |
|
297
|
0
|
|
주제별 논문영향력
논문영향력
| 주제 |
주제별 논문수 |
주제별 피인용횟수 |
주제별 논문영향력 |
| 주제어 |
ald
|
65
|
0
|
|
|
uv-ald
|
1
|
0
|
|
|
zno
|
231
|
0
|
|
| 계 |
|
297
|
0
|
|
| * 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수 |
0
|
|
