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Synthesis and Characterization of SnO2 Thin Films Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Using SnCl4 Precursor and Oxygen Plasma

이동권 김다영 권세훈 2016년

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논문상세정보

- 저자 이동권 김다영 권세훈
- 제어번호 101792476
- 학술지명 한국진공학회 학술발표회초록집
- 권호사항 Vol. 2016 No. 2 [ 2016 ]
- 발행처 한국진공학회
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 254-254 ( 1쪽)
- 언어 English
- 출판년도 2016
- KDC 420
- 판매처 누리미디어
- 주제어 O2 Plasma Plasma-enhanced atomic layer deposition SnCl4 precursor SnO2 thin films
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 3)
- plasma-enhanced atomic layer deposition 2건
- o2 plasma 1건

인용/피인용

Synthesis and Characterization of SnO2 Thin F ...

' Synthesis and Characterization of SnO2 Thin Films Deposited by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Using SnCl4 Precursor and Oxygen Plasma' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	o2 plasma plasma-enhanced atomic layer deposition sncl4 precursor sno2 thin films
7	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	o2 plasma	2	0	0.0%
	plasma-enhanced atomic layer ...	3	0	0.0%
	sncl4 precursor	1	0	0.0%
	sno2 thin films	1	0	0.0%
계		7	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0