인기 연구 키워드 :
인기 활용 키워드 :

유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구

이예슬 박혜진 최진우 김우재 황상혁 조태훈 윤명수 권기청 2016년

활용도
공유도
영향력

논문상세정보

- 저자 이예슬 박혜진 최진우 김우재 황상혁 조태훈 윤명수 권기청
- 제어번호 101792431
- 학술지명 한국진공학회 학술발표회초록집
- 권호사항 Vol. 2016 No. 2 [ 2016 ]
- 발행처 한국진공학회
- 발행처 URL http://www.kvs.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 215-215 ( 1쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2016
- KDC 420
- 판매처 누리미디어
- 주제어 랑뮤어 탐침 방출분광법 유도 결합 플라즈마 전자온도
- 참고문헌( 0)
유사주제 논문( 22)

인용/피인용

유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세 ...

' 유도결합플라즈마 공정에서 조건별 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도의 전기적, 광학적 진단에 관한 연구' 의 주제별 논문영향력

논문영향력 요약
동일주제 총논문수	논문피인용 총횟수	주제별 논문영향력의 평균
주제	랑뮤어 탐침 방출분광법 유도 결합 플라즈마 전자온도
26	0	0.0%

논문영향력
주제		주제별 논문수	주제별 피인용횟수	주제별 논문영향력
주제어	랑뮤어 탐침	2	0	0.0%
	방출분광법	1	0	0.0%
	유도 결합 플라즈마	15	0	0.0%
	전자온도	8	0	0.0%
계		26	0	0.0%
* 다른 주제어 보유 논문에서 피인용된 횟수			0