유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교

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논문영향력 선정 방법
논문영향력 요약
주제
  • 랑뮤어 프로브
  • 유도 결합 플라즈마
  • 전자기장 시뮬레이션
  • 플라즈마 진단
동일주제 총논문수 논문피인용 총횟수 주제별 논문영향력의 평균
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