논문상세정보
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- 저자 신주엽(Ju-Yeop Shin) 강성훈(Sung Hoon Kang) 마혜준(Hye Joon Ma) 권익환(Ik-Hwan Kwon) 양승필(Seung Pil Yang) 정현철(Hyunchul Jung) 홍정기(Chung Ki Hong) 김경석(Kyeong-Suk Kim)
- 제어번호 101779976
- 학술지명 한국비파괴검사학회지
- 권호사항 Vol. 36 No. 1 [ 2016 ]
- 발행처 한국비파괴검사학회
- 발행처 URL http://www.ksnt.or.kr
- 자료유형 학술저널
- 수록면 18-26 ( 9쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2016
- 등재정보 KCI등재
- 소장기관 영남대학교 과학도서관
- 판매처 누리미디어
- 주제어 Patterning Pedagogical grammar Digital Holography Interferometer System (DHIS) patterning Photolithography possessor-subjectpossessee-objectconstruction Step-Hight Width zero instruction 단차 디지털 홀로그래피 간섭시스템 패터닝 포토리소그래피 폭
