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- 저자 서진우 정양희 강성준 Seo, Jin-Woo Joung, Yang-Hee Kang, Seong-Jun
- 제어번호 101325843
- 학술지명 한국정보통신학회논문지
- 권호사항 Vol. 18 No. 2 [ 2014 ]
- 발행처 한국정보통신학회
- 발행처 URL http://www.kiice.org
- 자료유형 학술저널
- 수록면 394-400 ( 7쪽)
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 Figure of merit ITZOthinfilm ITZO박막 resistivity RF magnetron sputtering Transmittance 고주파마그네트론스퍼터링 비저항 재료평가지수 투과도