논문상세정보
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- 저자 홍윤표 박재화 박철우 김현미 오동근 최봉근 이성국 심광보 Hong, Yoon Pyo Park, Jae Hwa Park, Cheol Woo Kim, Hyun Mi Oh, Dong Keun Choi, Bong Geun Lee, Seong Kuk Shim, Kwang Bo
- 제어번호 101122253
- 학술지명 한국결정성장학회지
- 권호사항 Vol. 24 No. 5 [ 2014 ]
- 발행처 한국결정성장학회
- 발행처 URL http://www.kacg.net
- 자료유형 학술저널
- 수록면 196-201
- 언어 Korean
- 출판년도 2014
- 등재정보 KCI등재
- 판매처
- 주제어 AlN etching Etchpit Etchrate GaN KOH/NaOH Wet etching
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